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      全球首座18寸晶圓廠空氣凈化工程完工

      時間:2020-07-08  來源:車間凈化工程|食品凈化車間|潔凈手術室|潔凈實驗室-濟南順奇凈化工程有限公司  瀏覽次數: 108 次
      文章簡介:全球首座18寸晶圓廠空氣凈化工程完工,     凈化工程,空氣凈化工程,中山凈化工程450mm(18寸)供應鏈論壇邀請到臺積電、全球450mm聯盟、應用材料、KLA-Tencor、LamResearch等深度探討450mm未來發展藍圖,并

          凈化工程,空氣凈化工程,中山凈化工程450mm(18寸)供應鏈論壇邀請到臺積電、全球450mm聯盟、應用材料、KLA-Tencor、LamResearch等深度探討450mm未來發展藍圖,并率先預告世界第1座450mm晶圓廠將于今年12月準備就緒。

        臺積電派往全球450mm聯盟的技術中心處長林進祥特別回臺參加這次的論壇,他指出,世界第1座450mm晶圓廠將于今年12月準備就緒,而全球450mm聯盟希望在2015年~2016年間建立18寸晶圓的測試生產線,可望陸續開始生產品質較好的生產晶圓。

        臺積電450mm計劃暨電子束作業處處長游秋山表示,18寸晶圓發展之路仍有許多挑戰,若按照臺積電規劃,于2018年開始以10奈米量產18寸晶圓,屆時適用的微影技術是否夠成熟是最大問題。

        游秋山說,屆時更高昂的設備成本,能否讓18寸晶圓合乎晶圓面積增加的經濟效益,也值得思考。

        半導體同業于今年3月成立了全球450mm聯盟。游秋山表示,此舉就是希望能降低18寸晶圓生產設備所需的成本,關鍵點就是設備商要和晶圓廠密切合作。

        臺積產能居世界之冠

        根據SEMI統計數據,若去除記憶體相關產品線,臺積電在2011年已擁有近110萬片約當8寸晶圓片的產能,居世界之冠,估計至今年底,臺積電12寸廠的所有潔凈室面積超過32個世界杯足球場大小。

        游秋山指出,內部目標是希望與12寸晶圓相比,18寸晶圓的設備綜合效率(OverallEquipmentEfficiency),至2018年可以提升至12寸晶圓的1.1倍、2022年提升至1.8倍,而設備價格則可以壓低至小于12寸晶圓的1.4倍。

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